エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用

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  • エア ブンリ CPW ニ ヨル シリコン ドウハロ ノ キソ ケントウ ト Kuタイ RF-MEMS スイッチ エ ノ オウヨウ
  • A Study of Air-Suspended Silicon CPW for Ku-Band RF-MEMS Switch Application

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