最近の技術から 集積回路評価用レーザーテラヘルツ放射顕微鏡の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- サイキン ノ ギジュツ カラ シュウセキ カイロ ヒョウカヨウ レーザーテラヘルツ ホウシャ ケンビキョウ ノ カイハツ
- "開拓"進むテラヘルツ領域
- カイタク ススム テラヘルツ リョウイキ
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収録刊行物
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- 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
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光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 34 (9), 472-474, 2005-09
東京 : 日本光学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833346358016
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- NII論文ID
- 40006914770
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- NII書誌ID
- AN00080324
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- ISSN
- 03896625
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- NDL書誌ID
- 7483674
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles