RF-MBE法によるサファイア基板上の高品質InN薄膜成長--低温成長InN/GaNバッファー層の効果

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  • RF MBEホウ ニ ヨル サファイア キバン ジョウ ノ コウヒンシツ InN ハクマク セイチョウ テイオン セイチョウ InN GaN バッファーソウ ノ コウカ
  • 小特集テーマ 進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状
  • ショウトクシュウ テーマ シンテン スル チッカブツ ハンドウタイ ヒカリ デンシ デバイス ノ ゲンジョウ

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