招待講演 High-k及びSiO2ゲート絶縁膜を有するMOSFETにおける低電界移動度と高電界キャリア速度の関係

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タイトル別名
  • ショウタイ コウエン High k オヨビ SiO2 ゲート ゼツエン マク オ ユウスル MOSFET ニ オケル テイデンカイ イドウド ト コウデンカイ キャリア ソクド ノ カンケイ
  • IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術)
  • IEDM トクシュウ センタン CMOS デバイス プロセス ギジュツ

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