平成21年度大阪大学工業会賞受賞研究 量子ビーム装置へのイオン液体導入によるマイクロ・ナノ構造体作製法の開発
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- ヘイセイ 21ネンド オオサカ ダイガク コウギョウカイショウ ジュショウ ケンキュウ リョウシ ビーム ソウチ エ ノ イオン エキタイ ドウニュウ ニ ヨル マイクロ ナノ コウゾウタイ サクセイホウ ノ カイハツ
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- Techno net : 大阪大学工業会誌
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Techno net : 大阪大学工業会誌 (550), 8-11, 2010-10
吹田 : 大阪大学工業会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833599550208
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- NII Article ID
- 40017360888
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- NII Book ID
- AA11542929
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- NDL BIB ID
- 10874123
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZW2(一般誌--交友会誌その他)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles