皮膚性状計測へ向けた光・力複合MEMSセンサの研究
書誌事項
- タイトル別名
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- ヒフ セイジョウ ケイソク エ ムケタ ヒカリ ・ チカラ フクゴウ MEMS センサ ノ ケンキュウ
- Development of Light and Force Sensitive MEMS Sensor for Monitoring Skin Conditions
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1-4, 2017
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan