3DハイブリッドPIC/MCC法による4ガンRPD装置設計
書誌事項
- タイトル別名
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- 3Dハイブリッド PIC/MCCホウ ニ ヨル 4 ガン RPD ソウチ セッケイ
- The design of 4gun Reactive Plasma Deposition equipment by using 3 Dimensional Hybrid Particle In Cell
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収録刊行物
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- 計算工学講演会論文集 = Proceedings of the Conference on Computational Engineering and Science / 日本計算工学会 編
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計算工学講演会論文集 = Proceedings of the Conference on Computational Engineering and Science / 日本計算工学会 編 18 4p-, 2013-06
東京 : 日本計算工学会