圧電ダイアフラム型超音波センサの撓み構造と感度

Bibliographic Information

Other Title
  • アツデン ダイアフラムガタ チョウオンパ センサ ノ タワミ コウゾウ ト カンド
  • Buckling Structures and Their Effect to Sensitivity of Piezoelectric Diaphragm-Type Ultrasonic Microsensors
  • 電子デバイス
  • デンシ デバイス

Search this article

Journal

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top