書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ Si ウェーハ ノ キンイツ コウソク セイマクホウ ニ カンスル ケンキュウ
- Conditions for homogeneous and rapid deposition of Si film on semiconductor wafers
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収録刊行物
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- 日本機械学会論文集. B編
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日本機械学会論文集. B編 73 (732), 1599-1605, 2007-08
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833903677056
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- NII論文ID
- 110006401661
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- NII書誌ID
- AN00187441
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- ISSN
- 03875016
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- NDL書誌ID
- 8930937
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles