ファイバ-固体ハイブリッドパルス199nmレーザ光源の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- ファイバ コタイ ハイブリッド パルス 199nm レーザ コウゲン ノ カイハツ
- Development of pulse DUV laser at 199 nm using fiber-bulk hybrid amplifier
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収録刊行物
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- レーザ加工学会誌 = Journal of Japan Laser Processing Society
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レーザ加工学会誌 = Journal of Japan Laser Processing Society 17 (1・2), 65-67, 2010-04
吹田 : レーザ加工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834085557760
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- NII論文ID
- 40017252572
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- NII書誌ID
- AA11758611
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- ISSN
- 18816797
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- NDL書誌ID
- 10796374
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles