炭素系硬質コーテッド工具のリサイクル技術としての高密度酸素プラズマアッシング

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Other Title
  • タンソケイ コウシツ コーテッド コウグ ノ リサイクル ギジュツ ト シテ ノ コウミツド サンソ プラズマアッシング
  • High Density Oxygen Plasma Ashing for Recycling and Reuse of DLC-Coated Tools and Dies
  • 理工系編 VOL.58 NO.1 2014
  • リコウケイヘン VOL.58 NO.1 2014

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