局所的結晶薄膜形成のための加熱治具の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- キョクショテキ ケッショウ ハクマク ケイセイ ノ タメ ノ カネツ ジグ ノ ケントウ
- Study of the ceramic heater for partly crystal thin film formation
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収録刊行物
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- 沼津工業高等専門学校研究報告 = National Institute of Technology Numazu College research annual
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沼津工業高等専門学校研究報告 = National Institute of Technology Numazu College research annual (50), 17-20, 2016-01
沼津 : 沼津工業高等専門学校
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834184607872
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- NII論文ID
- 110010008240
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- NII書誌ID
- AN00199473
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- ISSN
- 02862794
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- NDL書誌ID
- 027250212
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
