3.1 シリコン表面のSi-Hの結合の赤外分光解析(3. 表面反応と膜成長,<小特集>シリコン系太陽電池の高効率化に向けたプラズマCVDの科学)
書誌事項
- タイトル別名
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- シリコン表面のSi-Hの結合の赤外分光解析
- シリコン ヒョウメン ノ Si-H ノ ケツゴウ ノ セキガイ ブンコウ カイセキ
- 3.1 Infrared Spectroscopic Study on Si-H Bonding Configuration on Silicon Surface(3. Surface Reaction and Film Growth,<Special Topic Article>Science and Technology of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for High-Efficiency Silicon Solar Cells)
- シリコン表面のSi-Hの結合の赤外分光解析
- Infrared Spectroscopic Study on Si-H Bonding Configuration on Silicon Surface
- 小特集 シリコン系太陽電池の高効率化に向けたプラズマCVDの科学 ; 表面反応と膜成長
- ショウトクシュウ シリコンケイ タイヨウ デンチ ノ コウコウリツカ ニ ムケタ プラズマ CVD ノ カガク ; ヒョウメン ハンノウ ト マク セイチョウ
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説明
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
収録刊行物
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- プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編
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プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編 91 (5), 329-335, 2015-05
名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834201919360
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- NII論文ID
- 110010016739
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- NII書誌ID
- AN10401672
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- ISSN
- 09187928
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- NDL書誌ID
- 026501252
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- NDL-Digital
- CiNii Articles