マイクロピラーアレイを用いた高感度MEMS気流せん断応力センサ
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- マイクロピラーアレイ オ モチイタ コウカンド MEMS キリュウ セン ダンオウリョク センサ
- High sensitive MEMS airflow shear stress sensor using a micro-pillar array
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4, 2016-10
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
