シリコン結晶技術と超LSI
Bibliographic Information
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- シリコン ケッショウ ギジュツ ト チョウLSI
- Silicon crystal technologies for ultra large scale integration
- [「応用物理」創刊75周年記念]特集記事
- オウヨウ ブツリ ソウカン 75シュウネン キネン トクシュウ キジ
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Journal
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- 応用物理
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応用物理 76 (8), 906-912, 2007-08
東京 : 応用物理学会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834301205888
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- NII Article ID
- 10019516485
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- NII Book ID
- AN00026679
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- ISSN
- 03698009
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- NDL BIB ID
- 8914260
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
