顕微ラマン分光計測におけるシリコン微小構造体の応力成分分離法
Bibliographic Information
- Other Title
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- ケンビラマン ブンコウ ケイソク ニ オケル シリコン ビショウ コウゾウタイ ノ オウリョク セイブン ブンリホウ
- Stress Component Analysis Method for Silicon Micro Structures Using Micro-Raman Spectroscopy
- 特集 ダウンサイジング化を支えるナノ・マイクロ材料計測技術
- トクシュウ ダウンサイジングカ オ ササエル ナノ ・ マイクロ ザイリョウ ケイソク ギジュツ
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Journal
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- 実験力学 : Journal of JSEM : Journal of the Japan Society for Experimental Mechanics / 日本実験力学会編集委員会 編
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実験力学 : Journal of JSEM : Journal of the Japan Society for Experimental Mechanics / 日本実験力学会編集委員会 編 12 (1), 3-7, 2012-03
東京 : 日本実験力学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834681950464
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- NII Article ID
- 10030556039
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- NII Book ID
- AA11822914
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- ISSN
- 13464930
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- NDL BIB ID
- 023662209
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
