時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性

書誌事項

タイトル別名
  • ジカン ブンカイケンビラマン ブンコウ ノ タメ ノ プルインガタ MEMS ヒカリ チョッパ ノ ドウサ トクセイ
  • Dynamic response of pull-in type MEMS optical chopper for time-resolved micro-Raman spectroscopy
  • 2013年度年次講演会
  • 2013ネンド ネンジ コウエンカイ

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