基調講演 マイクロ・ナノデバイスの構造信頼性評価に対応する新しいサブミクロンスケール機械工学への挑戦
Bibliographic Information
- Other Title
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- キチョウ コウエン マイクロ ・ ナノデバイス ノ コウゾウ シンライセイ ヒョウカ ニ タイオウ スル アタラシイ サブミクロンスケール キカイ コウガク エ ノ チョウセン
- A New Trend of Sub-Micron Scale Mechanical Engineering for the Structural Reliability of Micro/Nano Devices
- 2013年度年次講演会
- 2013ネンド ネンジ コウエンカイ
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Journal
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- 日本実験力学会講演論文集 : 年次講演会 = Proceedings of JSEM : annual Conference on Experimental Mechanics
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日本実験力学会講演論文集 : 年次講演会 = Proceedings of JSEM : annual Conference on Experimental Mechanics (13), 116-118, 2013
東京 : 日本実験力学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834752320768
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- NII Article ID
- 40019821762
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- NII Book ID
- AA11910104
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- ISSN
- 13464922
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- NDL BIB ID
- 024921298
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
