高周波スパッタリングによる酸化チタン薄膜の光伝導特性
書誌事項
- タイトル別名
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- コウシュウハ スパッタリング ニ ヨル サンカ チタン ハクマク ノ ヒカリデンドウ トクセイ
- Photo-conduction characteristics of titanium oxide films obtained by rf sputtering method
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収録刊行物
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- 愛知工科大学紀要 = Bulletin of Aichi University of Technology
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愛知工科大学紀要 = Bulletin of Aichi University of Technology 7 31-34, 2009
蒲郡 : 電波学園愛知工科大学
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834764708224
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- NII論文ID
- 40017105684
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- NII書誌ID
- AA12223915
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- ISSN
- 13498800
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- NDL書誌ID
- 10673540
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
