SiC/絶縁膜界面制御技術の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- SiC ゼツエン マク カイメン セイギョ ギジュツ ノ カイハツ
- Development of control technology for the interface of SiC/insulation film
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収録刊行物
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- 電力中央研究所報告. 研究報告. Q / [電力中央研究所材料科学研究所] 編
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電力中央研究所報告. 研究報告. Q / [電力中央研究所材料科学研究所] 編 (10009), 2011-05
横須賀 : [電力中央研究所材料科学研究所]
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834778830080
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- NII論文ID
- 40018879237
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- NII書誌ID
- AA12072525
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- NDL書誌ID
- 11148059
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
