2種類の圧電材を積層した弾性表面波デバイスの周波数特性
書誌事項
- タイトル別名
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- 2シュルイ ノ アツデンザイ オ セキソウ シタ ダンセイ ヒョウメンハ デバイス ノ シュウハスウ トクセイ
- Frequency properties of surface acoustic wave devices with bi-layered piezoelectric thin films
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 36 3p-, 2019-11
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan