GIS設備診断のためのCF₄検出ガスセンサの誘電泳動集積法による作製と評価
書誌事項
- タイトル別名
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- GIS セツビ シンダン ノ タメ ノ CF ₄ ケンシュツ ガスセンサ ノ ユウデン エイドウ シュウセキホウ ニ ヨル サクセイ ト ヒョウカ
- Fabrication of nanomaterial-based semiconductor gas sensor for CF₄ detection to diagnose GIS
- 誘電・絶縁材料 放電・プラズマ・パルスパワー 高電圧合同研究会・放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧/誘電・絶縁材料
- ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー コウデンアツ ゴウドウ ケンキュウカイ ・ ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー/コウデンアツ/ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. DEI
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電気学会研究会資料. DEI 2019 (16-27・29-33), 15-18, 2019-01-25
東京 : 電気学会