マイクロコンピュータによる蒸着膜厚および速度の制御装置の試作
書誌事項
- タイトル別名
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- マイクロコンピュータ ニ ヨル ジョウチャク マクアツ オヨビ ソクド ノ セ
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抄録
記事分類: 制御工学
収録刊行物
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- 鳥取大学工学部研究報告
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鳥取大学工学部研究報告 18 (1), p39-45, 1987-11
鳥取 : 鳥取大学工学部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853835123266816
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- NII論文ID
- 40002733490
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- NII書誌ID
- AN00174610
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- ISSN
- 03858596
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- NDL書誌ID
- 3176400
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles