分子線エピタキシー法によるGaAs,AlGaAs単結晶薄膜の成長とその評価
Bibliographic Information
- Other Title
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- ブンシセン エピタキシーホウ ニ ヨル GaAs AlGaAs タンケッショウ
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Abstract
記事分類: 電気工学--電気材料・部品
Journal
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- 大阪工業大学紀要. 理工篇 = Memoirs of Osaka Institute of Technology. Series A, Science & technology / 大阪工業大学紀要委員会 編
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大阪工業大学紀要. 理工篇 = Memoirs of Osaka Institute of Technology. Series A, Science & technology / 大阪工業大学紀要委員会 編 32 (2), p143-155, 1988
大阪 : 大阪工業大学
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853835130329344
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- NII Article ID
- 40000297767
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- NII Book ID
- AN00028550
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- ISSN
- 03750191
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- NDL BIB ID
- 3652175
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles