X線2結晶トポグラフィによるGaAsウエハーの格子歪みの観察

Details 詳細情報について

• CRID

  1520853835140247808

• NII Article ID

  40003600595

• NII Book ID

  AN00236445

• ISSN

  05404932

• NDL BIB ID

  3254133

• Web Site

  http://id.ndl.go.jp/bib/3254133

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3254133

• Text Lang

  ja

• NDL Source Classification

  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)

• Data Source

  • NDL Search
  • CiNii Articles