半導体量子細線作成のための電子線レジストの特性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ リョウシ サイセン サクセイ ノ タメ ノ デンシセン レジスト
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収録刊行物
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- 東京都立科学技術大学紀要 / 東京都立科学技術大学 編
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東京都立科学技術大学紀要 / 東京都立科学技術大学 編 (10), 65-70, 1996-12
日野 : 東京都立科学技術大学学術研究委員会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853835158574592
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- NII論文ID
- 110000553691
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- NII書誌ID
- AN10430069
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- ISSN
- 13403176
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- NDL書誌ID
- 4160467
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM1(科学技術--科学技術一般)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles