PZT系強誘電体薄膜の化学気相成長
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- Other Title
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- PZTケイ キョウユウデンタイ ハクマク ノ カガク キソウ セイチョウ
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Abstract
記事分類: 電気工学--電気材料・部品
Journal
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- 応用物理
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応用物理 61 (11), p1152-1155, 1992-11
東京 : 応用物理学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853835166594048
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- NII Article ID
- 10006620427
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- NII Book ID
- AN00026679
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- ISSN
- 03698009
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- NDL BIB ID
- 3795403
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles