電子ビームリソグラフィ装置
書誌事項
- タイトル別名
-
- デンシ ビーム リソグラフィ ソウチ
この論文をさがす
抄録
記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路
収録刊行物
-
- 応用物理
-
応用物理 49 (1), p70-77, 1980-01
東京 : 応用物理学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520853835178202880
-
- NII論文ID
- 40000277904
-
- NII書誌ID
- AN00026679
-
- ISSN
- 03698009
-
- NDL書誌ID
- 2071986
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles