SiO2膜の薄膜化と信頼性

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  • SiO2 マク ノ ハクマクカ ト シンライセイ

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記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子

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  • 応用物理

    応用物理 59 (11), p1491-1495, 1990-11

    東京 : 応用物理学会

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