Recent Progress in the Study of RF Discharge Plasmas : On the Electron Energy Distribution Function
Bibliographic Information
- Other Title
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- 最近のRF放電プラズマ研究の進展--電子エネルギー分布を中心として
- サイキン ノ RF ホウデン プラズマ ケンキュウ ノ シンテン デンシ エネ
- 最近のRF放電プラズマ研究の進展--電子エネルギー分布を中心として
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Abstract
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Journal
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- プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編
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プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編 73 (7), 656-665, 1997-07
名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853835185372800
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- NII Article ID
- 110003826889
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- NII Book ID
- AN10401672
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- ISSN
- 09187928
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- NDL BIB ID
- 4265870
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- NDL-Digital
- CiNii Articles