最近のRF放電プラズマ研究の進展--電子エネルギー分布を中心として

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サイキンノ RF ホウデンプラズマケンキュウノシンテンデンシエネ
Recent Progress in the Study of RF Discharge Plasmas : On the Electron Energy Distribution Function

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収録刊行物

プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編 73 (7), 656-665, 1997-07

名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

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Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/4265870; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4265870; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10452789

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