バイアススパッタ法で作製される3D周期ナノ構造の形成機構
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- バイアス スパッタホウ デ サクセイサレル 3D シュウキ ナノ コウゾウ ノ
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- 電子情報通信学会論文誌. C-1, エレクトロニクス. 1, 光・波動 = he Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1 / 電子情報通信学会 編
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電子情報通信学会論文誌. C-1, エレクトロニクス. 1, 光・波動 = he Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1 / 電子情報通信学会 編 81 (2), 108-109, 1998-02
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853835202750720
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- NII Article ID
- 110003307813
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- NII Book ID
- AN10071283
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- ISSN
- 09151893
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- NDL BIB ID
- 4412823
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
