同時スパッタリングによる希土類-遷移金属系アモルファス膜の作製
書誌事項
- タイトル別名
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- ドウジ スパッタリング ニヨル キドルイ センイ キンゾクケイ アモルファス
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抄録
記事分類: 物理学--分子・物性
収録刊行物
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- 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials
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電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials 97 (11), p563-570, 1977-11
東京 : 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853835234143744
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- NII論文ID
- 40002516237
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- NII書誌ID
- AN10136312
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- ISSN
- 03854205
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- NDL書誌ID
- 1852577
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles