ULSI用高誘電体・強誘電体薄膜材料技術
書誌事項
- タイトル別名
-
- ULSIヨウ コウ ユウデンタイ キョウユウデンタイ ハクマク ザイリョウ ギ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems
-
電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems 117 (3), 210-255, 1997-02
東京 : 電気学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520853835235773952
-
- NII論文ID
- 40002525401
-
- NII書誌ID
- AN10065950
-
- ISSN
- 03854221
-
- NDL書誌ID
- 4149754
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles