CaF₂とコスパッタ成膜したIn₂O₃透明導電薄膜の光学的および電気的特性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- CaF ₂ ト コスパッタセイマク シタ In ₂ O ₃ トウメイ ドウデン ハクマク ノ コウガクテキ オヨビ デンキテキ トクセイ ヒョウカ
- Electrical and Optical Characterization of In₂O₃ Transparent Conductive Film Co-sputtered with CaF₂
- 電子材料研究会 フレキシブル素子応用に向けた新規薄膜電子材料の合成と評価
- デンシ ザイリョウ ケンキュウカイ フレキシブル ソシ オウヨウ ニ ムケタ シンキ ハクマク デンシ ザイリョウ ノ ゴウセイ ト ヒョウカ
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. EFM / 電気学会電子材料研究会 [編]
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電気学会研究会資料. EFM / 電気学会電子材料研究会 [編] 2021 (1-15), 33-36, 2021-11-18
東京 : 電気学会
