化学溶液堆積法による誘電体薄膜の作製
Bibliographic Information
- Other Title
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- カガク ヨウエキ タイセキホウ ニ ヨル ユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ
- Preparation of Dielectric Thin Films by Chemical Solution Deposition
- 特集 低温合成による新材料創製 : 異分野横断で見える無機化学の可能性
- トクシュウ テイオン ゴウセイ ニ ヨル シン ザイリョウ ソウセイ : イブンヤ オウダン デ ミエル ムキ カガク ノ カノウセイ
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Journal
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- 機能材料
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機能材料 33 (1), 46-50, 2013-01
東京 : シーエムシー出版
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520854803531343744
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- NII Article ID
- 40019559186
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- NII Book ID
- AN00360069
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- ISSN
- 02864835
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- NDL BIB ID
- 024221078
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles