フラットパネルの欠陥修正装置用塗布機構一体型リニアチェンジャの開発
Bibliographic Information
- Other Title
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- フラットパネル ノ ケッカン シュウセイ ソウチヨウ トフ キコウ イッタイガタ リニアチェンジャ ノ カイハツ
- Development of linear changer with built-in pasting unit for defect repair system of flat panels
- 要素技術特集号 ; 精機商品
- ヨウソ ギジュツ トクシュウゴウ ; セイキ ショウヒン
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Abstract
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
Journal
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- NTN technical review
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NTN technical review (76), 136-141, 2008-10
大阪 : NTN
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520854805172753792
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- NII Article ID
- 40016805215
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- NII Book ID
- AN10232848
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- ISSN
- 09150528
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- NDL BIB ID
- 10416963
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles