大型TFT-LCD製造用PECVD装置の現状と展望
Bibliographic Information
- Other Title
-
- オオガタ TFT-LCD セイゾウヨウ PECVD ソウチ ノ ゲンジョウ ト テンボウ
- 特集 2006年のディスプレイとデバイス技術展望
- トクシュウ 2006ネン ノ ディスプレイ ト デバイス ギジュツ テンボウ
Search this article
Journal
-
- ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌 / 月刊ディスプレイ編集委員会 編
-
ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌 / 月刊ディスプレイ編集委員会 編 12 (1), 24-30, 2006-01
東京 : テクノタイムズ社
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520854805218915072
-
- NII Article ID
- 40019855811
-
- NII Book ID
- AA11422144
-
- ISSN
- 13413961
-
- NDL BIB ID
- 024981637
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles
