AD法におけるプラズマ援用効果
書誌事項
- タイトル別名
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- ADホウ ニ オケル プラズマ エンヨウ コウカ
- Influence of plasma assistance for AD method
- 特集 ナノレベル電子セラミックス材料低温・集積化技術
- トクシュウ ナノ レベル デンシ セラミックス ザイリョウ テイオン シュウセキカ ギジュツ
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収録刊行物
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- マテリアルインテグレーション = Materials integration
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マテリアルインテグレーション = Materials integration 20 (12), 22-26, 2007-12
京都 : ティー・アイ・シィー
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520854805266336512
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- NII論文ID
- 40015752198
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- NII書誌ID
- AA11323801
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- ISSN
- 13447858
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- NDL書誌ID
- 9297030
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
