書誌事項
- タイトル別名
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- チョウ ネツ ゲンシ ビーム ニヨル エッチング ハンノウ
- 特集:新しいビーム源の開発とその表面反応・薄膜作製への応用
- トクシュウ アタラシイ ビームゲン ノ カイハツ ト ソノ ヒョウメン ハンノ
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抄録
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
収録刊行物
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- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
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表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 18 (12), 736-742, 1997-12
東京 : 日本表面科学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520854805573196928
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- NII論文ID
- 10002265596
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- NII書誌ID
- AN00334149
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- ISSN
- 03885321
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- NDL書誌ID
- 4352373
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles