超音波デバイス 長辺振動水晶振動子の周波数変調原子間力顕微鏡への応用--原子分解能力センサ
書誌事項
- タイトル別名
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- チョウオンパ デバイス チョウ ヘン シンドウ スイショウ シンドウシ ノ シュウハスウ ヘンチョウ ゲンシカンリョク ケンビキョウ エノ オウヨウ ゲンシ ブンカイ ノウリョク センサ
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収録刊行物
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- 超音波techno / 超音波techno編集部 編
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超音波techno / 超音波techno編集部 編 21 (4), 60-64, 2009
東京 : 日本工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520854805599232384
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- NII論文ID
- 40016757875
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- NII書誌ID
- AN10068970
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- ISSN
- 09162410
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- NDL書誌ID
- 10381598
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
