スパッタリング法による高性能Nd-FeB/Ta多層薄膜永久磁石の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- スパッタリングホウ ニ ヨル コウセイノウ Nd FeB Ta タソウ ハクマク エイキュウ ジシャク ノ カイハツ
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収録刊行物
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- Neomax技報
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Neomax技報 15 20-25, 2005-05
大阪 : Neomax
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520854805944674048
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- NII論文ID
- 40006759303
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- NII書誌ID
- AA12080396
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- ISSN
- 18802990
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- NDL書誌ID
- 7350085
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles