PVD/CVD技術の最近の話題
書誌事項
- タイトル別名
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- PVD/CVD ギジュツ ノ サイキン ノ ワダイ
- 特集 表面改質技術
- トクシュウ ヒョウメン カイシツ ギジュツ
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収録刊行物
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- 月刊トライボロジー
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月刊トライボロジー 29 (1), 32-35, 2015-01
東京 : 新樹社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520854805976549632
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- NII論文ID
- 40020325571
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- NII書誌ID
- AN10221852
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- ISSN
- 09146121
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- NDL書誌ID
- 026033549
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles