表面性状の高精度測定と光学シミュレーションへの活用 : 微小表面幾何構造からの光散乱特性の予測

書誌事項

タイトル別名
  • ヒョウメン セイジョウ ノ コウセイド ソクテイ ト コウガク シミュレーション エ ノ カツヨウ : ビショウ ヒョウメン キカ コウゾウ カラ ノ ヒカリ サンラン トクセイ ノ ヨソク
  • High precision measurements of surface textures and their utilization in optical simulations : Estimation of the characteristics of light scattered from a surface geometric microstructure

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