超常磁性Co基グラニュラー薄膜の磁気特性の成膜速度依存性と新規反応性パルスDCスパッタリング成膜法の有用性の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- チョウジョウ ジセイ Coキ グラニュラー ハクマク ノ ジキ トクセイ ノ セイマク ソクド イソンセイ ト シンキ ハンノウセイ パルス DC スパッタリングセイマクホウ ノ ユウヨウセイ ノ ケントウ
- Dependence of magnetic properties in superparamagnetic Co-granular thin films on deposition rate and effectiveness of a new pulsed DC reactive sputtering method for film fabrication with high deposition rate
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収録刊行物
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- 日本素材物性学会誌 = Journal of the Society of Materials Engineering for Resources of Japan
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日本素材物性学会誌 = Journal of the Society of Materials Engineering for Resources of Japan 32 (1・2), 22-27, 2022-03
秋田 : 日本素材物性学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520855132307352704
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- NII書誌ID
- AA12778986
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- ISSN
- 24330507
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- NDL書誌ID
- 032119393
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL