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シリコンMEMSプラズモニック構造による光電気的検出を利用したセンサの展開
Bibliographic Information
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- シリコン MEMS プラズモニック コウゾウ ニ ヨル ヒカリ デンキテキ ケンシュツ オ リヨウ シタ センサ ノ テンカイ
- Advances of Silicon MEMS Sensors Employing Electrical Detection of Plasmon
- MEMSセンサ研究開発の最前線
- MEMS センサ ケンキュウ カイハツ ノ サイゼンセン
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- 応用電子物性分科会誌 = Bulletin of solid state physics and applications / 応用物理学会応用電子物性分科会 編
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応用電子物性分科会誌 = Bulletin of solid state physics and applications / 応用物理学会応用電子物性分科会 編 25 (4), 123-128, 2019
[東京] : 応用物理学会
