In-Sn-Zn三元系アモルファス酸化物を用いた半導体ガスセンサの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- In-Sn-Znサンゲンケイ アモルファス サンカブツ オ モチイタ ハンドウタイ ガスセンサ ノ カイハツ
- DEVELOPMENT OF In-Sn-Zn TERNARY AMORPHOUS OXIDE-BASED GAS SENSORS
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収録刊行物
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- Proceedings of the Chemical Sensor Symposium
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Proceedings of the Chemical Sensor Symposium 72 1-3, 2023-03
長崎 : 電気化学会化学センサ研究会