高周波誘導熱プラズマ装置による粒子生成と成膜プロセス

書誌事項

タイトル別名
  • コウシュウハ ユウドウ ネツ プラズマ ソウチ ニ ヨル リュウシ セイセイ ト セイマク プロセス
  • The Particle Creation and the Deposition Process with the RF Inductively Coupled Thermal Plasma System
  • 特集 ナノ粒子及び微粉末を活用した溶射法による表面改質技術の最新動向
  • トクシュウ ナノ リュウシ オヨビ ビフンマツ オ カツヨウ シタ ヨウシャホウ ニ ヨル ヒョウメン カイシツ ギジュツ ノ サイシン ドウコウ

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