ベルト駆動型多関節ロボットの軌道逸脱を低減する目標軌道のウエハ産業用設計事例

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  • 藤村 統太
    九州工業大学 大学院 情報工学府 学際情報工学専攻
  • 福井 善朗
    九州工業大学 情報工学研究院 知的システム工学研究系
  • 伊藤 博
    九州工業大学 情報工学研究院 知的システム工学研究系

書誌事項

タイトル別名
  • Wafer Industry Design Case Study of Target Trajectory for Reducing Trajectory Deviation of a Belt-Driven Articulated Robot
  • ベルト クドウガタ タカンセツ ロボット ノ キドウ イツダツ オ テイゲン スル モクヒョウ キドウ ノ ウエハ サンギョウヨウ セッケイ ジレイ

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抄録

<p>This paper deals with high-speed and high-precision transfer control of silicon wafers by a belt-driven robot. We propose a target trajectory design while we only can change the trajectory due to the industry’s strict development limitations. The proposed trajectory design has a piecewise linear type velocity profile. Gradients of each segment in the piecewise profile, that is acceleration, are designed with a consideration of two factors: The effects of belt elasticity and kinematics between the amount of belt elongation and the amount of tracking error. To reduce the amount of tracking error effectively, we also propose a design indicator which combines the two factors for designing the profile. An experiment with the belt-driven type wafer transfer robot UTM-R3700F, currently in use in industry, illustrates that the proposed trajectory design with the proposed indicator reduces tracking error compared to the conventional trajectory design.</p>

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参考文献 (4)*注記

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