プラズマイオン源を用いたFIBおよび大電流条件下での加工アーティファクト
書誌事項
- タイトル別名
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- プラズマイオン ゲン オ モチイタ FIB オヨビ ダイ デンリュウ ジョウケン カ デ ノ カコウ アーティファクト
- Characteristic of Plasma FIB and Suppression Method for Ion-Beam Induced Artifacts under High-Current Milling
- 特集 FIB-SEM技術の最前線
- トクシュウ FIB-SEM ギジュツ ノ サイゼンセン
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収録刊行物
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- 顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編
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顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編 58 (3), 100-105, 2023
東京 : 日本顕微鏡学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520862036470646016
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- NII書誌ID
- AA11917781
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- ISSN
- 13490958
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- NDL書誌ID
- 033267706
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL